BEH系列
BEH系列
通過(guò)微機(jī)精密控制工作狀態(tài)。
BEH干式真空泵系列產(chǎn)品在實(shí)現(xiàn)低速運(yùn)轉(zhuǎn)的同時(shí)仍能發(fā)揮極高性能，可用于CVD、PVD、刻蝕、濺射等所有工程。
特點(diǎn)
n 微機(jī)控制系統(tǒng)
常見(jiàn)顯示泵的電流值、冷卻水的流量、氮?dú)饬髁?、泵的背壓?？梢跃芸刂乒ぷ鳡顟B(tài)。另外，發(fā)生異常時(shí)，響起警報(bào)，并顯示和記錄時(shí)間和異常內(nèi)容。報(bào)警內(nèi)容和時(shí)刻最多要記錄199條。
n 遙控
內(nèi)裝專(zhuān)用連接器。遙控運(yùn)轉(zhuǎn)和監(jiān)視。
n 節(jié)約N2氣體模式
工程中止時(shí)，可遙控切斷稀釋用N2氣體。
n LCD控制器
運(yùn)轉(zhuǎn)操作和顯示各種信息。
規(guī)格
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